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真空等離子處理機(jī)

工業(yè)真空等離子處理機(jī)系列

真空等離子處理機(jī)是一個(gè)具有多用途的機(jī)械系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于活化,退鍍,改性,蝕刻,提升附著力和清洗等等功能。腔體大小從20升~1000升以上,電源、真空泵、反應(yīng)氣體等根據(jù)需求靈活定制,清洗工藝靈活可控制,具有清洗溫度低,效果好,全方位清洗無(wú)死角,產(chǎn)能高等特點(diǎn),是東信等離子事業(yè)部門(mén)主推產(chǎn)品之一

全國(guó)服務(wù)熱線: 137-2884-2905

真空等離子處理機(jī)產(chǎn)品參數(shù):

電源頻率40KHz/13.56MHz可選
容量20L~1000L
功率0-1000W(可調(diào))
腔體尺寸定制
處理層數(shù)定制
外形尺寸定制
真空泵油泵/干泵+羅茨組合
真空度5-100pa(可調(diào))
腔體材質(zhì)316不銹鋼/進(jìn)口鋁合金(選配)
氣體流量控制0-500SCCM(MFC±2%)
氣體通道兩路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02
等離子體發(fā)生器40KHz/13.56MHz
腔體溫度<30℃
控制方式PLC+觸摸屏
系統(tǒng)控制軟件自主研發(fā)V2.0
電極陶瓷進(jìn)口高頻陶瓷

產(chǎn)品功能:

蝕刻:對(duì)于光致抗蝕劑聚酰亞胺的殘留和以硅化物為基本成分的涂層等材料的清除很有用

粘附提升:往基質(zhì)上添加活化能力強(qiáng)的化學(xué)基團(tuán)以提高其粘合劑的黏著度。

清洗:清除材料上的光學(xué)物質(zhì)的污染以及清除有機(jī)物殘留,氧化和金屬鹽等對(duì)材料的污染。

活化:能使處理基材表面生成所需化學(xué)極鍵;

退鍍:使被處理基材除去金屬等材料,制作各種產(chǎn)品。




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